利用到真空环境的装置类，因功能薄膜的普及和高纯度 材料的使用用途得到扩大等原因，种类得到快速增加。除 了传统的与半导体相关的装置和芯片结构的电子部件外， 与液晶显示器、PDP显示装置等材料真空注入装置、EL 相关装置等日本具有优势地位的平面显示器业界也有很大 的关系。 截面结构模型。 |  |
（1）真空效果的使用方法
以下2种是具有代表性的使用方法。
（1）物理性/化学性效果的使用
主要目的是，抑制除空气外，氧、氮、水蒸气等所导致的化学反应的影响和促进吸附液体的蒸发等。
■应用示例
真空蒸馏、真空干燥、真空蒸镀、其他
（2）力学性效果的使用
以与大气压之间的压力差为力来利用。
■应用示例
真空卡盘、真空浸渍（注入）
（2）关于真空装置用的材料
除了一般性的机械强度、加工性、耐腐蚀性等之外，气体释放速度和气体透过性等作为材料特性也是必要的。
（1）真空用金属材料
真空用金属材料的名称 | 说明 |
钢铁 | ・钢铁在溶解·浇铸等的过程中会混入气体。 ・若采购用真空溶解工艺生产的材料的话，气体含有量就小。
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不锈钢 | ・用于高品质的真空装置用腔体、配管等。 ・为了抑制气体释放，会需要进行电解研磨、喷砂处理等。
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铝合金 | ・与不锈钢一样，用于腔体等。 |
（2）塑料
塑料材料其释放气体较多，气体透过性高。因此，当容器使用时，材料选择方面需引起注意。也多用于其他部件用途。当容器使用的话最好是FRP（Fiber Reinforced Plastics）。
（3）橡胶
作为真空用途的，选定合成橡胶。主要用途是法兰盘部的密封圈。超高真空用材料则使用氟橡胶。
（4）陶瓷
作为真空环境中使用的机械部件用材料，有SiN4、SiC、Al2O3、赛隆等。
