由于存在日本国内制造业向高附加值化转移和一般要求具有ppm等级以上高品质这样的背景等因素，因此，具有高性价比，即低投资，高功能的无尘化需求非常高涨。同样，人们也要求可应对在各种等级的无尘室使用的设备和备件类做到无尘化。
（1）应对无尘化的设计所需的要素技术
营造出无尘环境，并予以保持。此时所需的原则有以下3个。
1. 不带入污染物。 |
采用LCA机构来形成各自的原则，并予以保持。此时，所需的主要要素技术如下所示。
【表1】构成无尘化三原则的主要要素技术
无尘化三原则 | 要素技术 | 说明 |
[1] | 过滤技术 | 使用过滤器将污染物清除掉 |
清洗·包装技术 | 清除污染物，带入时进行外包装。 | |
气压控制技术 | 保持无尘环境所需的宏观气流控制 | |
气流控制技术 | 保持无尘环境所需的微观气流控制 | |
计量评估技术（通用） | 污染量测量技术 | |
LCA设计技术（通用） | 整个LCA设计技术 | |
[2] | 摩擦磨损抑制技术 | 来自可活动滑动部的起尘量的抑制技术 |
材料技术 | 耐腐蚀材料、带电位控制材料、密封材料等 | |
包装技术 | 外包装 | |
测量评估技术（通用） | 与[1] 相同 | |
LCA设计技术（通用） | 与[2] 相同 | |
[3] | 静电控制技术 | 抑制静电所导致的污染物堆积 |
气流控制技术 | 抑制悬浮所导致的污染物扩散 | |
清洁（无尘化技术） | 将已堆积起的污染物清除掉 | |
测量评估技术（通用） | 与[1]相同 | |
LCA设计技术（通用） | 与[2]相同 |
下一讲，对LCA设备的无尘化技术的基础知识进行说明。
