以下以无尘室用搬运LCA机构为事例来复习一下应对无尘室的LCA设计的要点。
・【照片1】所示为玻璃基板的搬运机构。它是一个从左侧（橙色箭头）开始来搬运玻璃基板，在照片所示的装置上进行定位，并将搬运方向作90度变更的移载单元。
・ 由于玻璃基板在此期间是以暴露状态来进行搬运的，因此，搬运路径的空间得益于局部无尘化技术，成为了高度无污染状态。
・ 穿过位于照片上部的长方形洞口，进行湿法加工处理。
说明：
NO. | 功能 | 无尘室用LCA的要点 | 补充 |
1. | 搬运带轮用旋转机构外盖 | 对来自滑动机构部的起尘进行局部处理的外盖 | 起尘的局部 |
2. | 将基板搬运力传递到基板 | ・将搬运力均衡地向基板传递的布局设计和材料选定。・O形环为黑色：丁腈橡胶，摩擦力传递白色：氟橡胶，基板支撑
| 摩擦磨损控制 |
3. | 获得基板的开口 | ・根据合理的排气速度和基板变形的开口尺寸余量来确定洞口尺寸。
| 气流控制 |
4. | 基板的侧面辅助导向件 | ・不容易磨损的材料・不会带来损伤的材料
| 材料技术 |
5. | 将基板搬运力传递到基板 | ・由于在从2.到5.中，支撑个数较少，因此，O形环全部安装黑色：丁腈橡胶
| 摩擦摩损控制 |
6. | 外盖 | ・SUS装置外盖（防锈、防起尘飞溅）
| 材料技术 |
7. | 冲孔板 | ・需要进行气流控制的部分外盖
| 气流控制 |
8. | 贴近机构（向左右移动） | ・基板近旁的滑动机构安装在基板的下部
| LCA设计技术 |
9. | 基板导向件 | ・对已被搬运的基板进行定位的导向板・氟系树脂：低摩擦系数，耐磨损，耐化学品性
| 材料技术 |
10. | 机构部座板 | ・防锈，加工性，轻量的Al材
| 材料技术 |
11. | 搬运机构（上下・旋转）/外盖 | ・搬运机构上下移动，使带轮旋转，由此来移送基板。・外盖内部用聚氨酯皮带来使Al带轮旋转传递。由此来抑制起尘
| LCA设计技术 |
预定从下一讲开始，对使用频次最高的机械部件“螺栓”进行技术性说明。
