除了使用至今的传统过滤器外，随着反渗透、超滤、电渗析、改进型离子交换法等新技术的出现，使得电阻率18MΩ·cm、微粒（0.2μm以上）20个/ml以下、活菌0.2个/ml以下的超纯水成为可能。
【图1】中，各种过滤方法所决定的过滤极限粒径标注在下方。
使用金属丝网或滤布作为过滤介质的“过滤法”，是一种长期以来用于过滤清酒和酱油的方法。在该方法中，与膜接触的溶液被加压，以在膜的两侧产生压力差，从而将液体分离成通过膜的液体和不通过膜的液体，这个过程称为“过滤”。而这层膜被称为“滤材”。当使用“滤布”过滤时，过滤极限是最大约10μm左右的固体。因此，出现了使用超细纤维制成的微滤器，可以过滤0.1μm左右的对象。
此外，通过减小过滤介质的网孔并使用玻璃纸膜，可以分离胶体。这种分离方法可以过滤比常规颗粒更小的细菌、蛋白质、胶体等微观物体，因此使用这种膜的过滤被称为“超滤法”。
随着使用类似于生物体的半透膜的超滤法和反渗透的出现，分离大分子和离子成为可能。
【图2】中显示了超滤的原理。
水或相近大小的小分子可以透过超滤膜，但胶体和蛋白质等大分子则无法透过。
