本案例"芯片顶出机构",平行顶出后准确交接。使用滑台,实现高精度和作业效率的提高。
用途
· 从下方顶出晶圆后进行交接
IDEA NOTE 平行顶出
通过各滑台调整杠杆手柄,以进行平行顶出使用倾斜调整组件和XY轴交叉滚子调整上下滑动,使用自动X轴滑台调整最终的顶出动作
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中精度X轴手动滑台 交叉滚子导轨型
固定手柄
握柄 HY8310.5
Z轴简易调整组件 进给丝杠型/重载型