（1）测量原理
电感耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma，简称ICP）发光分析是使用更高温度（6000～8000k）的电感耦合等离子体火焰代替原子吸收光谱燃烧器（约3000℃以下），能够对更广范围的测量物质进行激发，根据激发出的原子谱线波长位置进行定性分析，并根据发射强度进行定量分析。
（2）装置
该分析仪由蒸发样品并发光的发光单元、分光形成发射光谱线的分光单元和测量光谱线的光度单元组成。 【图1】中显示了ICP等离子放电管的结构与工作原理。等离子放电管是石英制成的三联管，顶部缠绕有线圈。当高频电流通过线圈时会感应产生高频磁场。当氩气在磁场中流动时，会产生高温等离子火焰。利用氩气载运预先用雾化器（喷雾装置）雾化的样品送入等离子火焰中，试样蒸发、原子化、激发并发光。对该发射光谱进行分光和光度测量，从而完成分析。
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【图2】中展现了分析装置的系统。
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（3）特征
与原子吸收光谱法相比，ICP发射光谱法能够分析更多种类元素，除了重金属外还可分析C、P、S等元素。此外，即使在同一样品中含有多种元素的情况下也可以进行多元素同时分析，因此除了钢铁和有色金属工业外，还被用于食品、纤维、环境、半导体等各种领域。
