（1）何为无尘室
无尘室，使用高性能空气滤清器（HEPA过滤器，ULPA过滤器）将空气中的悬浮微粒清除掉，然后将这种清洁的空气供应到室内。通过提高室内压力（正压）来防止来自外部的悬浮微粒侵入。
（2）无尘室的种类
根据气流的流动方式来分类的话，无尘室的种类有以下3种（参照【图1】）。
无尘室的种类 | 形式 | 特点 |
a）单向流动方式 | 有水平式、垂直式 | 高品质的无尘室用途 |
b）非单向流动方式 | 有紊流式、置换式 | 在中等程度的无尘室，适合LCA用途。 |
c）混合方式 | a）和b）的混合形式 | 容易获得高性价比 |
（3）关于局部无尘化
即使在无尘室当中，特别是由于作业区域需要高度污染控制，因此，局部地使所需空间成为高度无尘环境这一思路便是局部无尘化。以下两种是主要的局部无尘化构成要素，与将整个房间做到无尘化这一传统思路不同，它是针对所需部分来形成所需无尘环境的思想。
局部无尘化的构成要素 | 形式 | 特点 |
小环境 | ・仅将产品（硅晶片基板等）放入到密封容器内，由此防止污染，并进行转移等。・密封容器有SMIF，POD，FOUR等。
| 可应对高品质的防污染 |
微环境 | ・用隔墙将对污染敏感的器具和作业区域阻隔开来，部分地进行污染控制。・使用密封容器（小环境）和做到系统化，由此营造出局部无尘化环境。
| 这是一种容易做到无尘环境和高效率生产活动并存的方式 |
（4）标准的无尘室示例
标准的无尘室示例见【图2】。为使得可针对该处开展的作业进行高度污染控制，而从无尘室的入口侧开始，按顺序不断改善无尘度（清洁度）。此外，还根据不同的作业种类（作业区域、设备设置区域、维护区域、通道、准备室等）来进行布局设计。
下一讲，对构成无尘化技术基础的无尘室的基本结构进行说明。
