无尘室用LCA设备机构材料的选定，根据无尘化三原则的思路进行。其中，特别重要的是以下两项解决办法。
| ＊不产生污染物 ＊不堆积污染物 |
下表对无尘化三原则与LCA设备机构部材料之间的关系进行说明。
【表1】无尘化三原则与LCA设备的机构部材料之间的关系
无尘化三原则LCA设备的机构部材料说明不带入污染物 ↓搬入设备时的防带入措施＊与结构构件之间的关系少＊重要的是抑制搬入设备时的污染带入 a）搬入无尘室前，进行清洁，以将污染物清除掉（清洁方法为用水擦拭等）。 b）搬入时，为避免使之结露，应减少设备温度与所搬入的室的温度之间的温差，然后才搬运进去。不产生污染物
↓不出现生锈，磨损粉末，吸附气体等＜结构构件＞ a）具有耐腐蚀性的金属，经表面处理的材料 b）通过表面处理来获得耐腐蚀性 c）采用电解研磨表面加工件 d）不使用木材，纸张，混凝土等一般建材类＜滑动构件＞ e）采用低蒸气压性油脂类 f）采用耐磨损材料 a）使用不锈钢，铝材等来防锈。使用经表面处理的材料来防锈。 b）镀制（镍，冷电镀处理等），表面涂装 c）对于真空装置用腔等，应选定不会释放出从金属内部所释放出的气体的加工件。 d）在裸露状态下，会起尘。有经年变化。 e）用于滑动部的油脂应选定难以被气化的油脂（低蒸气压性油脂类） f）选定可抑制磨损粉末产生的材料和轴承不堆积污染物
↓不会带电 不会使气流滞留＜结构构件＞ a）导电性材料 b）导电性表面处理 c）经冲孔冲压处理的SUS钢板 a）为避免带静电而采用导电性材料。而且，切实地进行接地，由此不使之带电（参照第247讲【图4】） b）塑料类采用经防带电表面处理的塑料件 c）采用不会遮挡气流流动的钢板 |
下一讲，对无尘室用LCA设备的滑动机构进行说明。
