无尘室用LCA设备的润滑技术（对应无尘室的LCA-11）

作为减少摩擦，磨损和寿命经时变化的技术，存在有润滑技术。在此，润滑油和润滑脂材料具有重要作用。但是，无尘室（CR）内使用润滑油和润滑脂的话，这类材料也会产生麻烦问题，如附着在作业人员上的二次污染和作为气化气体的污染释放等。
在此，对适合CR内使用的润滑油和润滑脂进行说明。

■ 何为CR用润滑脂

・在无尘室使用的润滑用润滑脂，选定的是低饱和蒸气压润滑脂。

・饱和蒸气压指，饱和后的蒸气压力＝有蒸发趋势的压力。

・蒸发指，从液体转变为气体。这样一来，若是润滑脂和油，蒸发这一变化便变为可在CR内作为气体（悬浮微粒）悬浮飞溅的状态。

・因此，最好将不容易蒸发的润滑用润滑脂作为CR用的润滑脂。

・低饱和蒸气压指，蒸气压较低的状态（＝向接近真空状态侧转变）。

・低饱和蒸气压润滑脂指，在接近真空侧的环境中，具有不容易气化的润滑脂性质的润滑脂。

■ 具有代表性的真空用/CR用润滑脂的性质

・真空用/CR用润滑脂的分子结构，全部用氟来使末端饱和，在化学性质上具有极为稳定的特性。（有氟涂层的平底锅解释了，具有即使烧糊了也不容易附着的特性的分子结构模式。）

・为此，对于金属，其化学吸附性极弱。因此，用于轴承和滑动部分时，很多时候是添加防锈剂来使用。

・为这种润滑油时的蒸气压：9ｘ10−5〜1ｘ10−7

・与高温时的一般润滑油的蒸发量比较，得出以下数值。

■ 蒸发量真空用/CR用润滑油合成油硅油

＜0.1＜1.5＜1・・・100℃时（wt%）＜1无法测量＜10・・・200℃时（wt%）

■ 为了抑制润滑用油/润滑脂类的飞溅

・用于CR用LCA机构的润滑技术和防飞溅措施见下表。