概要
从在加工操作台上用真空吸附把持玻璃基板的状态，到放开真空吸附解除玻璃基板的把持时，有可能会发生玻璃基板破损的事故。由于急剧的放开真空吸附产生的冲击是主要原因，缓慢的控制这个真空放开能够作为对策解决问题。
讲解
・以玻璃基板自体的轻量化和材料费削减为目的，推进基板的薄板化和大盘化。这个倾向也会产生坏的影响，在真空吸附和放开的操作时很容易发生玻璃基板的破损事故。而且，为了缩短生产周期，也会有进行真空把持和放开的高速化的情况，这样就会带来玻璃基板的破损事故。这里讲解了通过控制真空吸附的放开的玻璃基板的破损应对策。
(1) 真空吸附放开时的玻璃基板破损不良的原因讲解
・从玻璃基板的真空吸附状态到放开状态时控制真空吸附的话，如果使真空放开急剧变化的话，在真空吸附的小的吸附孔的部位空气会被爆炸性的释放。
・由于这时的局部的空气压和急剧的真空解除对玻璃基板的冲击，会有使玻璃基板发生破损的可能。
(2) 真空吸附放开时的玻璃基板破损不良的对策
・通过玻璃基板的真空吸附的控制设计，真空开放的开放速度初期时要缓慢，设定使开放时的冲击可以缓和的时间，之后，通过控制真空解除的全开时间和速度，能够避免由于真空解除时的冲击而产生的玻璃基板的破损事故（图2）。
