概要
在缝隙残留的液体污渍很难进行清洗处理。在此,对缝隙残留的液体污渍清洗处理的预处理方法进行说明。
说明
(1)去除不掉的污染物的事例
・在小部件重叠进行清洗处理或2张玻璃基板粘接的液晶显示部件的清洗处理等,过程中的异物,液体药品和清洗液等由于毛细现象极易进入缝隙,因此很难去除。
・在缝隙保持残留状态的液体污染物干燥后会留下污渍,产生不合格产品。
・即使用吹尘枪吹也只是将液体移动到空气吹不到的地方,以飞溅的状态散落到其它产品上也是产生污渍的原因。
・像这样残留了在缝隙清洗去除的污染物时,会产生很多在之后工程的清洗处理中去除不掉的污染物。
(2)小缝隙残留液体的去除方法
・采用强空气吹散缝隙间液体污染物的方法经常会不能完全去除液体污染物(图1)。
・改变想法,用强气流吸引的方法(吸引去除法)如果选择合适的条件及硬件,可以有效去除缝隙间的液体污染物。另外,几乎不会发生飞溅等二次伤害(图2)。
・采用吸引去除法时,吸嘴与工件的位置关系(距离,方向,其它)的适当选择很重要。
・吸引的液体污染物通过吸嘴后,需要设置一个此液体污染物的收集器。