以下是关于运用改良技术将自动化设备大型化对应设计的说明 。
(1) 大型XY工作台的要求性能
・高精度XY工作台在自动化设备中普遍使用,所以在生产技术这方面可以说比较成熟。在需要大型(长行程)且同时实现高速驱动及高精度加工这样在售产品以外性能时,以此理由进行开发。
*大型轻量可动部件的构造
*对长期环境变化(温度变化,振动等)不敏感的材料特性
*可高精度加工的材料及构造体
因此不采用在售的铁系材料XY工作台,采用花岗岩石材独创开发。
(2) 大型XY工作台设计的注意点
自动化设备设计者对于大型化对应优先采用以下设计方案。
<大型化对应设计的注意点>
・选择随时间变化小,不易受热位移和振动影响的构造用材料。
・说明:花岗岩石材是精密测量表面板(图1)采用的材料,具有上述(1)的特性。
・高刚性的构造设计(由自重引起的偏移最小化对应)
・组装时精度具有易初基准的构造设计
・说明:花岗岩石材经过高精度研磨,平坦度及直角/平行精度也进行超精密加工。
・图2是1.4m长直线导轨的截面形状精度,底面组装基准面与上面的平行度:0.003,侧面安装基准面与导轨侧面的平行度:0.008为部件精度。
・采用可对应大型化的廉价标准部件类