在精密定位中，涉及（1）驱动器、（2）精密定位机构、（3）控制方法，三要素技术。 在这里，将介绍在（2）精密定位机构中采用微米至纳米范围的微定位机构的平行弹簧。
（1）平行弹簧的原理（参考【图1】）
・平行四边形的形状即使高度改变也可以利用两边平行，使用单轴做微小移动。
・由于弹簧力总是有一个向上的作用力，所以可以忽略间隙。
（2）平行弹簧和制动器组合使用的实例
1. 平行弹簧和（滚珠丝杠＋旋转电机）的组合（照片1）
| 在这种情况下，滚珠丝杠的振动产生误差（横向、纵向），所以把平行弹簧结构设置在滚珠丝杠螺母的壳体中。 |  |
2. 平行弹簧和电缸的组合
这种组合用于许多纳米滑台。 用一般的二轴线性运动单元（滑动导轨+滚珠丝杠+旋转电机）做为粗动载台，并安装在其上以进行精确定位控制。
※ 图2：由电气元件组成平行弹簧传动机构实例・・・＜出自：超精密工作机械的制作；江田弘著＞
※ 图3：同上的6自由度结构・・・＜同上＞
※ 照片2：骏河精机的纳米控制级别的平行弹簧滑台・・・＜出自骏河精机商品目录＞
下一讲，我们将提供有关弹簧尖端技术实例：微探针用弹簧。
