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如何创造真空

  • 2023.05.23 10:13:29
  • 米思米
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 为了实施干燥工艺,必须制造出真空系统。真空系统由真空容器、真空泵、真空计等组成。

 真空容器是由需要进行表面处理的工件大小及处理量、成膜元素及化合物的供给源、电极等必须安装在容器内的设备所占的体积所决定,其材质必须具备不会导致真空泄漏的致密结构,并且必须具有不会吸附气体的镜面状光滑表面。

 真空泵被定义为“从特定空间(真空容器)中抽除气体的装置”,但根据其工作原理,具有多种不同种类。【表1】中是主要的真空泵的应用范围。

【表1】主要真空泵的应用范围

如何创造真空

 从表中可以看出,没有任何一种真空泵能够仅依靠一台泵实现大范围的真空区域,因此通常如下所示将几台泵组合使用以达到目标真空度。


1.

湿式系统(使用油)

油回转泵(2级)→油扩散泵→液氮捕集器的组合可达到10-6~10-8Pa。


2.

干式系统(不使用油)

吸附泵→溅射离子泵→钛升华泵的组合可达到10-6~10-9Pa。


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