下面继续介绍代表性的真空泵。
（3）吸附泵
被用作冰箱除臭剂活性炭，即使是在室温下也能吸收难闻的气味。但是并不能吸附空气。为了利用吸附剂吸附真空系统中的空气，需要利用液氮等将其冷却至-196℃进行吸附排气。 如果使用诸如每克表面积可达600m2的具有极大表面积的吸附剂，然后用液氮对其进行冷却，就可以吸附大量气体，从而可作为真空泵使用。使用后，只需加热即可将所吸取的大部分空气排出，作为真空泵可多次反复使用。 这种真空泵的价值在于完全不使用油，可与溅射离子泵组合构成完全干燥的真空系统。 吸附泵的外观如【照片1】中所示。在不锈钢容器中装有多孔材料，最外面的保温瓶中装入液氮进行冷却。
|
|
（4）溅射离子泵
日光灯用久了，两端会变黑变暗。这是因为荧光灯的灯丝电极成分被溅射并附着在玻璃管的内表面。这种溅射出来的电极物质附着到内壁上时，会逐渐吸附周围的气体。结果导致不易发生放电，日光灯变暗。
溅射离子泵就是利用这种现象，在比荧光灯更低的压力下产生离子，再利用这些离子溅射活性物质，从而吸附气体。
这种泵通常在圆柱形阳极的两端具有阴极（由钛等制成），并在两者之间施加高电压，且使其处于强磁场的磁控管放电状态中。磁控管放电产生的电子，因阳极室中的放电而产生离子。离子冲入阴极并溅射钛。并附着在阳极等部位上。此时就会吸附气体。其状况如【图1】所示。
