如何构建真空系统取决于其使用目的。作为一个示例，油扩散泵排气系统如【图1】所示。
运行步骤是先打开“粗抽阀”，然后启动油回转泵。粗抽是与“精抽”相对应的词汇，是指作为前级预排气将大部分空气从真空容器中抽出。从105Pa的大气压降至1〜10-2Pa的真空。这一步所需的时间大约在5～6分钟。
接下来，打开辅助阀，关闭粗抽阀，形成真空容器→油扩散泵→油回转泵→排放到大气的回路。（油扩散泵的油锅炉需要预热15～30分钟。）
容器内压力和所需时间的排气曲线示例如【图2】所示。这张【图】是表示粗抽后的压力变化。 |
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真空度与应用领域如【图3】所示。干式系统的表面处理只需达到真空即可，而有些表面处理则需要达到一定程度的高真空度后一边通入所需气体，一边同时进行处理。
