① 什么是精密滑台？
③ 精密滑台的用途例
精密滑台的用途例
前面的章节，促进了对精密滑台自身及其驱动和结构的大致理解。
在此，还想介绍“该精密滑台实际上在什么场合使用？”
精密滑台的实际使用例
分配器装置
龙门式XYZ滑台／滚珠丝杠驱动
映射装置
晶片样品台： XY滑台
扫描透镜：单轴执行器
搬运装置（2个零件同时）
XZ滑台／Z×2台 安装
上述列举的例子是电子领域最具代表性的装置引进例。
顺便说一下，本稿未过多提及滑台的精度，不同用途所要求的精度水平各式各样，大致为50µm～5nm，
要求的精度不同，设计上、驱动方式和机构，以及控制方针都不同。
