化学冲孔中使用的蚀刻剂（腐蚀性液体），根据金属材料和所需的加工速度不同，其成分和温度也会有所不同。【表1】中显示了用于主要材料的蚀刻剂组成和条件的示例。
【表1】化学蚀刻中所使用的蚀刻液
材料 | 组成 | 液温（℃） | 加工速度 （mm/分） |
Al及其合金 | NaOH（150-180ｇ/ℓ）+Al（6-20g/ℓ） | 70-80 | 0.018-0.025 |
FeCl3（120-180g/ℓ） | 50 | 0.025 | |
HCl（50vol%）+HNO3（5vol%） | 50 | 0.025-0.05 | |
FeCl3（30Be,3.8ℓ）+HCl（38%,34mℓ） | 45 | - | |
Cu及其合金 | FeCl3（30-40g/ℓ） | 50 | 0.025-0.05 |
（NH4）2S2O8（8-16g/ℓ） | 32-50 | 0.013-0.025 | |
CuCl2（30-35g/ℓ） | 55 | 0.013-0.015 | |
CrO3（22-30g/ℓ） | 50 | 0.025-0.035 | |
铬Cr | FeCl3（42Be,2vol）+HCl（38%,1vol） | 80 | - |
HCl（38%,3vol）+H2O（7vol） | - | - | |
金Au | HCl（75vol%）+HNO3（25vol%） | 32-38 | 0.025-0.05 |
NaCN+H2O2 | - | - | |
Mg | HNO3（12-15vol%） | 32-50 | 0.025-0.05 |
Mo | H2SO4（25vol%）+HNO3（25vol%） | 55 | 0.025 |
HNO3（30vol%）+HCl（30vol%） | - | - | |
Ni及其合金 | HNO3（48vol%）+H2SO4（5.5vol%）+H3PO4（11vol%）+HC2H3O2（5.5vol%） | 43-50 | 0.025 |
FeCl3（34-38g/ℓ） | 50 | 0.013-0.025 | |
HNO3（1vol）+HCl（1vol）+H2O（3vol） | - | - | |
银Ag | HNO3（50-90vol%） | 38-50 | 0.013-0.025 |
Fe（NO3）3（30g/ℓ） | 55 | 0.020 | |
CrO3（40g/ℓ）+H2SO4（20mℓ）+H2O（2ℓ） | - | - | |
钢铁 | HNO3（20vol%）+H2SO4（5vol%）+H3PO4（5vol%） | 57-70 | 0.018-0.025 |
FeCl3（34-38g/ℓ） | 50 | 0.025 | |
HNO3（10-15vol%） | 50 | 0.025 | |
不锈钢 | HCl（50vol%）+HNO3（5vol%）+H3PO4（2.5vol%） | 65 | 0.01 |
FeCl3（34-38g/ℓ） | 65 | 0.02 | |
锡Sn | FeCl3（34-38g/ℓ） | 55 | - |
Ti | HF（10-50vol%） | 30-50 | 0.013-0.025 |
