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后处理(化学蚀刻)

  • 2023.06.07 13:40:07
  • 米思米
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 化学冲孔后的后处理包括去除残留的掩蔽剂、防锈处理、成品检查等。

 蚀刻冲孔加工出的零件,很少会在蚀刻完成后依然有掩蔽剂残留在材料表面的状态下使用。因此必须通过某种方式去除残留的掩蔽剂。

 掩蔽剂种类繁多,大部分掩蔽剂都有其专用的去除剂,可通过使用去除剂或将其浸泡在三甲苯、二甲苯、苯等有机溶剂中剥离掩蔽剂。

 另外,掩蔽剂通常不耐碱,光致抗蚀剂(通过曝光形成所需图案的掩蔽剂)的这一特性尤为显著,可将其浸入加热后的10~30%烧碱溶液中予以剥离。但是,这种方法不能用于铝等会溶解在碱中的材料。

 仅通过将其浸入液体中就可以轻松剥离掩蔽剂的情况是最好的,但如果无法充分剥离干净,请在将其浸入液体中后用纱布或刷子等刷擦。在大量生产的情况下,可使用从喷嘴将剥离溶液喷射到掩蔽膜上以将其剥离的装置。

 去除掩蔽膜后,用水清洗并晾干,必要时需进行防锈处理。最后进行尺寸、形状、针孔、堵塞孔等检查,完成整个处理工序。

 蚀刻中需要注意的一点是侧面蚀刻。时刻处理时,再向垂直于材料表面的方向蚀刻的同时,也会横向发生蚀刻。横向腐蚀距离称为侧蚀(s)side-etch或底切under-cut。蚀刻的截面形状如【图1】所示,随着加工深度(d)的增加,侧蚀的尺寸(s=(w2-w1)/2)也会相应增大。

 侧蚀会因金属的种类、蚀刻剂的成分、蚀刻条件的不同而异。如果被蚀刻的物体非常薄(例如几μm),这几乎不是问题,但如果蚀刻对象比较厚,这一现象就会成为一个重要问题。

 为了减少侧蚀,选择适合的蚀刻剂非常重要。使用添加了腐蚀抑制剂的液体等。其次,侧蚀也会受到蚀刻方法的影响,当采用喷雾法或桨叶法将蚀刻剂垂直喷射到材料表面时,底面溶液的搅动比侧面更剧烈,因此与浸渍法相比,侧面发生的腐蚀会更小。

后处理(化学蚀刻)


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