为获得具有高性价比的无尘环境而需要为所需空间营造出稳定的无尘环境。局部无尘化技术就符合这一思路。在此，并不是要说明已在“第243讲对应无尘室的LCA-3：无尘室的结构说明”中进行过说明的小环境（SMIF等），而是说明基于LCA思想来设计局部无尘环境的思路。
（1）局部无尘化技术
局部无尘化技术是一种对基于需进行无尘化的对象的简易无尘环境进行设计·制作的技术。以下3种是具有代表性的形式。
【表1】局部无尘环境的形式
局部无尘环境的形式 | 特点 | 用途示例 |
加压紊流式 | ・从作业台靠自己的一侧开始进行作业时的局部无尘化技术 ・过滤器单元设置在上部或前部
| ・在无尘室内的检查作业台 ・精密部件的组装作业台 |
简易无尘棚式 | ・采用手工作业方式实施了步骤后，需采用无人运转方式来运转设备，由此获得稳定无尘度时等。 ・可在无人状态下获得稳定的无尘度
| ・产品的发货检查·包装用 ・无尘室内自动设备的局部无尘棚 ・工程学评估用 |
简易小无尘室式 | ・需仅对独立的设备进行无尘化时等 ・不容易受周边环境的影响
| ・专用设备用无尘棚 ・带温度/湿度控制的无尘棚 |
（2）局部无尘化所需的简易无尘棚的设计和制作关键点
简易无尘棚设计的基本思路也与无尘化三原则的思路一样。为此而进行的设计的关键点见下表。但由于需要进行控制的是“肉眼看不到的微小污染物的流动”，因此，并非是要一次性地获得完善的环境，窍门是调整清洁空气的气流，与此同时，形成为最佳状态。
【表2】简易无尘棚的设计·制作关键点
简易无尘棚设计的关键点 | 改善事例 |
不要让从HEPA过滤器单元出来的气流出现滞留 | ・在棚内的转角部上安装倾斜板，使之形成无尘空气的气流（【图2】）
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直接向需拥有无尘度的部分流入无尘空气 | ・使用经防带电处理的薄板（非聚氯乙烯薄板：HPEDT）来形成直接气流（【图3】）
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在棚外，在可顺畅地排出无尘空气的位置设置排气口。 | ・根据无尘空气的气流，在棚下部的多个位置。
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在棚内使用的部件，应选择不会造成污染物堆积的构件。 | ・安装在顶棚的荧光灯应设置无灯罩的裸灯。・作业台应使用不会生锈的冲孔材料・塑料类应使用经防带电处理的塑料
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为避免棚结构材料带电后吸附污染物，应采用可进行接地等消电处理的构件和进行相应的结构设计。 | ・塑料类应使用经防带电处理的塑料・由于铝框的表面处理层具有绝缘性，因此，应使用导电性螺栓与母材连接，使之成为导电体。 |
下一讲，对无尘空气的可视化技术进行说明。
