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无尘室用LCA的周边环境(对应无尘室的LCA-6)

  • 2020.03.17 21:26:59
  • 米思米
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   在此,作为无尘室用LCA的周边环境,对无尘室用LCA的污染控制的概念和该处的气压/气流控制的目的进行说明。

1)局部无尘化技术与无尘室用LCA的布置构成的关系

 作为无尘室污染控制的概念图,有【图1】壳状污染控制的概念图。这种思路是要求具有高度无尘时的无尘室构造(参照【图2】)的概念图。但也可直接作为LCA设备用局部无尘化的设计概念图使用。

无尘室用LCA的周边环境(对应无尘室的LCA-6)

   无尘室用LCA的布置构成恐怕可大致分为以下两种。

  1.   单机式的LCA设备

  2.   工序式的LCA系统(按工序顺序将单机式设备联接在一起的多台系统)


 可认为,这两种
LCA形式可通过单独或结合在一起地利用下图所示的无尘室用LCA污染控制的概念来进行应对。

无尘室用LCA的周边环境(对应无尘室的LCA-6)

2)宏观气压控制和微观气流控制

   ■ 何为宏观气压控制

 简易无尘小室式的简易无尘棚等外墙为封闭的形式时,在外部气压变动(门的开闭等)的影响下,会产生较大的室压变动,从而会出现气流逆流(流入)。为避免这种情况出现,需预先提高简易无尘棚侧的室压(例:2〜15Pa左右)。

   ■ 何为微观气流控制

 由于在简易无尘棚内的无尘空气的循环上,是通过较小的气流紊乱来使之置换的,因此,对于排气口的形状,据称,在设计上最好要使得排气的气流速度在0.2m/s以上。

   

   下一讲,对无尘室用LCA设备的单元布置构成进行说明。

 


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