在此，作为无尘室的环境测定，对可成为无尘度评估标准的悬浮微粒的测量和对LCA设备等给周边带来的污染状态进行评估的表面污染测量法进行说明。
（1）悬浮微粒的测量方法
无尘室的无尘度用悬浮微粒的数量来表示。对于这种测量，存在有ISO标准中规定的测量方法。用采用这种测量方法测量出的无尘度来表示。无尘度的标准，有[1] 美国联邦标准 FS 209E-1992，[2] JIS B 9920-1989标准，[3] 国际标准标准ISO 14644-1这3种。主要采用 [3] 的ISO。
悬浮微粒的测量方法 | 测量原理 |
1）显微镜法 | 使用显微镜来对用吸入泵吸入无尘室内的空气，并捕集到测量试样上的微粒尺寸进行测量。 |
2）光散乱式自动粒子测量仪法 | 将0.5μm以上的无尘室内的微粒获取到光散乱式粒子测量仪内，并自动测量尺寸和数量。 |
（2）表面汚染测量法
对设计和制作在无尘室使用的LCA自动设备等的担当工程师来说，了解LCA自动设备自身在周围产生何种程度的汚染，是很重要的。采用下表所示的方法，可简单地进行测量。
表面汚染的测量方法 | 测量原理 |
1）显微镜观察法-1 | 在LCA设备附近等定点观察场所，将干净的玻璃和硅基板暴露一定时间。然后在此状态下，捕集落下的汚染物，用显微镜来识别尺寸和种类。必要时，也会通过成份分析来特定出汚染物。 |
2）显微镜观察法-2 | 在LCA设备附近等定点观察场所，将粘胶带暴露一定时间。然后在此状态下，捕集落下的汚染物，用显微镜来识别尺寸和种类。 |
