秉持着“两个滑动部件相互摩擦，由此进行滑动的部分必然会起尘”这一思路。这从滑动机构的摩擦，磨损和寿命这三点来看是合适的。因此，在无尘室使用的LCA设备的滑动机构部其无尘化技术，是根据无尘化技术三原则的项目-2“不产生污染物”这一思路来采取措施的。
・由于滚珠丝杠是进行旋转运动的，因此，润滑脂飞溅的影响较大，通常，若是润滑脂，直至运转后20小时左右为止，润滑脂飞溅量较多，之后，在高水平上稳定下来。
・使用低起尘润滑脂的话，从初始开始，起尘就较少，并在长时间内稳定。
・对于两者，为了要抑制长时间磨损，需要适时地供给润滑脂（参照【图2】）。
为了要抑制滑动部的磨损起尘 | 手段示例 |
减少滑动机构部 | 减少采用滑动/旋转/啮合机构 |
减少摩擦力 | 1.减少垂直荷载 |
使用润滑剂来抑制磨损 | 采用无尘用润滑脂，并进行维护。 |
采用耐磨损性高的滑动部件 | 采用具有规格余量的滑动部件（轴承类） |
抑制振动和机构松动 | 抑制运动速度·加速度 |
局部排气处理＜防飞溅措施＞ | 通过机构结构来进行应对 |
下一讲，对无尘室用LCA设备的润滑用油/润滑脂类飞溅的抑制进行说明。
