概要
通过搬运辊子的配置方案和各个辊子的摩擦系数的最佳配置化，避免基板的搬运偏移，使其直行搬运的运动控制性的提高成为可能。
讲解
讲解使用独立的3列搬运辊子机械构造，使搬运的直线行进性稳定化的机械构造。
1) 辊子配置的数量和配置方案
・对支撑1张基板的辊子配置点上的摩擦力的配置平衡进行研究，能够提高搬运移动中的搬运运动的稳定化。
2) 支撑1张基板的各个辊子的摩擦系数的最佳配置化
・为了使搬运物笔直的移动到搬运线上，需要使其笔直的面向搬运用的摩擦力的作用方向。
・因此，由于改变了基板的辊子支撑点上的摩擦系数，即使是基板的支撑点的位置产生了变化的状态，也很容易使摩擦力的作用方向变成直线状，要以这个想法来考虑各个辊子的摩擦系数的最佳配置化。
・把安装了传递摩擦力的橡胶制O型圈的搬运辊子和，辅助的起支撑基板作用的摩擦系数小的塑料制搬运辅助辊子进行交替排列，因此有9个平面支撑点，因为没有其中的5个点用4个点也可以传递摩擦力所以能够进行稳定的搬运。
・安装了O型圈的辊子的排列方案（图1-A格局）是与平板板厚的测量点的位置一致的格局，可以说是平板支撑的基本形。
・把基板移动到搬运线上，（图1-B格局）上显示了与A格局不同的B格局状态的基板和辊子之间的位置关系。
・通过A格局和B格局的2种辊子排列，由于稳定的摩擦力配置可以很容易的直线的移动1张基板。
