金属清洗
为了进行电镀、喷漆、涂装、蚀刻等表面处理,需要先对表面进行净化。这些工序通常称为目标表面处理的预处理。
净化的目的是通过“清洗”去除附着在材料表面的油脂和产生的氧化膜等“污物”,从而露出基材表面。如果这个过程不能可靠地进行,不仅在基材上形成的各种薄膜的附着力会变差,而且薄膜本身的物理性能也会受到损害。
近年来,我们已经进入纳米技术时代,在超精细图案的形成过程中,纳米级的污垢和表面缺陷都会导致出现缺陷,因此,在这些领域,需要比传统清洗更严格的洁净度。
关于“污垢”的种类,会在本系列(“金属表面的污垢-1”、“金属表面的污垢-2”)中予以讲解。
清洗方法
清洗是指去除附着在基板表面的污垢和不需要的物品的工序,根据污染物的种类和清洗的目的,可采用以下方法。
1)利用清洗剂去污
清洁剂是利用对表面的亲和力比污垢更大的表面活性剂的作用置换污垢,使污垢浮起并去除。
2)机械性去污
通过擦拭、刷洗或机加工等手段,去除材料表面的一部分。
3)利用溶剂去污
水溶性污渍可用清水去除,油性污渍可用酒精等溶剂去除。
4)利用化学反应去污
利用化学药剂将污垢转化为可溶性物质并将其去除。
在清洗过程中,上述方法可单独或组合使用,在各种场合下可以允许存在何种数量残留物的目标洁净度,决定了清洗的经济性以及技术难度。因此,通过去除附着在金属表面的所有物质来实现彻底清洁,在工业上是不现实的。预先了解在不产生不利影响的情况下,可以容忍多少污垢,是很有必要的。
因此,洁净度评估在清洗过程中必不可少。但是,这也有很大难度。