① 什么是精密滑台？
② 驱动方式和内部组成
③ 精密滑台的用途例
② 驱动方式和内部组成
本章节将讲述前一章节介绍的精密滑台的驱动部和可动结构。
另外，这里将“XY滑台（2轴正交）”作为参考说明。
首先，XY滑台的例子请参照下图。
（骏河精机生产、自动直动滑台 ・・・米思米经营的产品）
Fig.3） XY滑台的概略组成
如Fig.3）图所示，基本上只不过是将2个1轴滑台以底座成直角的形式组装而成。
（※ 1轴滑台 ⇒ 单轴执行器 or 机器人 ・・・也有表现为这种的情况）
另外，驱动方式方面，步进电机（伺服电机）和滚珠丝杠通过联轴器直接连接，与滚珠丝杠螺母部固定的工作台作为可动部位发生直线动作。
此时，可动部位和工作台搭载物的负荷由线性导轨支撑，包括工件在内的可动部位运行时产生的pitch、roll、yaw方向的各力矩负荷也同样被线性导轨支撑，有助于实现高精度搬运。
【补充】
除了上述类型之外，还有各种各样的类型，例如采用线性马达作为驱动源，或者使用皮带驱动作为直动机构等。
驱动源方面，只限于步进电机或者伺服电机，但稍后在谈到精密搬运控制的时候，想另外补充说明。
