① FA用机器人的种类和用途
③ 手部功能例
手部功能的例子
前一章节举例说明了机器人的种类和内部结构的概要。
在使用机器人的时候，非常重要的一个因素就是“手部”部分。在制造、组装、搬运、检查等各种各样的场合下都会使用机器人，必须根据各自的工作选择最佳手部。
这里，继续前一章节的例子（晶圆搬运机器人），介绍保持工件（单晶硅圆片）的手部（末端执行器）例子。
例5） 边缘握持式末端执行器
如上图所示，一共在末端执行器上设置了4处零件来限制晶片发生错位，通过内置的气缸来按紧晶片从而固定好。
这种搭载了边缘握持式手部的机器人，主要多用于将载入埠上的盒内晶片传递给装置内部的过程侧的EFEM（Equipment of Front End Module）内。
这是使用正压空气保持工件的方法的一例。另外，还有如使用真空吸附（-80kPa左右）的保持方法、落入方式（捞起）、伯努利真空方式等，应根据用途区分使用这几个主要方式。
