下面介绍代表性的真空泵。
（1）油回转泵
像水泵一样，带有阀门的转子在圆盘形外壳内旋转，进行进气、压缩、排气，并使用油润滑摩擦部位。由于是利用大气压力吸气，因此在许多真空系统中被用作第一级真空泵。这些泵可根据其结构分为旋片式、凸轮式、摆动活塞式。2级式真空泵是将2台泵串联，部分高精度型可达10-3Pa左右。【照片】中是电机直联式油回转泵的外观。 |
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（2）油扩散泵
这种泵是利用从喷嘴以2倍音速以上的速度喷出的油蒸汽喷流带走气体。其结构如【图1】所示，由锅炉加热而蒸发的油蒸气从各个喷嘴中喷出，将扩散到喷流中的气体推向泵下方。该气体被压缩至约1Pa，由油旋转泵接管，进一步由油旋转泵压缩至大气压，并释放到大气中。 另一方面，油从喷口喷出后，凝结在水冷泵容器的内壁上形成油滴，然后沿着内壁移动返回锅炉。 这种泵在进口侧装有冷盖以防止油液倒流，在出口侧装有水冷挡板或液氮冷阱，以防止油液流出。
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