为了实施干燥工艺，必须制造出真空系统。真空系统由真空容器、真空泵、真空计等组成。
真空容器是由需要进行表面处理的工件大小及处理量、成膜元素及化合物的供给源、电极等必须安装在容器内的设备所占的体积所决定，其材质必须具备不会导致真空泄漏的致密结构，并且必须具有不会吸附气体的镜面状光滑表面。
真空泵被定义为“从特定空间（真空容器）中抽除气体的装置”，但根据其工作原理，具有多种不同种类。【表1】中是主要的真空泵的应用范围。
【表1】主要真空泵的应用范围
从表中可以看出，没有任何一种真空泵能够仅依靠一台泵实现大范围的真空区域，因此通常如下所示将几台泵组合使用以达到目标真空度。
1. | 湿式系统（使用油） 油回转泵（2级）→油扩散泵→液氮捕集器的组合可达到10-6～10-8Pa。 | |
2. | 干式系统（不使用油） 吸附泵→溅射离子泵→钛升华泵的组合可达到10-6～10-9Pa。 |
