化学冲孔后的后处理包括去除残留的掩蔽剂、防锈处理、成品检查等。
蚀刻冲孔加工出的零件，很少会在蚀刻完成后依然有掩蔽剂残留在材料表面的状态下使用。因此必须通过某种方式去除残留的掩蔽剂。
掩蔽剂种类繁多，大部分掩蔽剂都有其专用的去除剂，可通过使用去除剂或将其浸泡在三甲苯、二甲苯、苯等有机溶剂中剥离掩蔽剂。
另外，掩蔽剂通常不耐碱，光致抗蚀剂（通过曝光形成所需图案的掩蔽剂）的这一特性尤为显著，可将其浸入加热后的10～30%烧碱溶液中予以剥离。但是，这种方法不能用于铝等会溶解在碱中的材料。
仅通过将其浸入液体中就可以轻松剥离掩蔽剂的情况是最好的，但如果无法充分剥离干净，请在将其浸入液体中后用纱布或刷子等刷擦。在大量生产的情况下，可使用从喷嘴将剥离溶液喷射到掩蔽膜上以将其剥离的装置。
去除掩蔽膜后，用水清洗并晾干，必要时需进行防锈处理。最后进行尺寸、形状、针孔、堵塞孔等检查，完成整个处理工序。
蚀刻中需要注意的一点是侧面蚀刻。时刻处理时，再向垂直于材料表面的方向蚀刻的同时，也会横向发生蚀刻。横向腐蚀距离称为侧蚀（s）side-etch或底切under-cut。蚀刻的截面形状如【图1】所示，随着加工深度（d）的增加，侧蚀的尺寸（s=（w2-w1）/2）也会相应增大。
侧蚀会因金属的种类、蚀刻剂的成分、蚀刻条件的不同而异。如果被蚀刻的物体非常薄（例如几μm），这几乎不是问题，但如果蚀刻对象比较厚，这一现象就会成为一个重要问题。
为了减少侧蚀，选择适合的蚀刻剂非常重要。使用添加了腐蚀抑制剂的液体等。其次，侧蚀也会受到蚀刻方法的影响，当采用喷雾法或桨叶法将蚀刻剂垂直喷射到材料表面时，底面溶液的搅动比侧面更剧烈，因此与浸渍法相比，侧面发生的腐蚀会更小。
