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静电所导致的带电/放电故障的解决方法(对应无尘室的LCA-13)

  • 2020.03.17 21:41:05
  • 米思米
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   不仅是无尘室内的环境,当出现由静电所导致的带电/放电带来的产品破坏(静电破坏)等故障时,人们在生产设备方面谋求解决方法。以下,对静电所导致的带电/放电故障和LCA设备方面的解决方法思路进行说明。

(1)静电所导致的带电/电故障

 在设备上,部件和半成品设置在工作台上来进行组装,调整和检查等。此时,对于设备和对象半成品来说,是无法指望做到完善的防带电处理的。因此,在设备方面来谋求静电故障的解决方法。

  ■ 静电所导致的静电破坏故障的解决方法思路
  原理原则・・・将静电产生降为零,这作为自然现象是不可能做到的。
  解决方法的思路・・・即使在带电状态下,也要将不使之达到放电状态的环境列入到LCA
机构中。

  下面介绍一下工作台上的剥离带电的解决方法和搬运输送机上的解决方法这两个事例。

   事例1:工作台上的剥离带电的解决方法 

 ・对于玻璃基板等导电材料来说,仅仅是从设置在工作台上的状态下拿起来,也会产生剥离带电。

 ・在此方面,工作台材料自身属于导电材料时,在从将两种导电材料结合的状态下来剥离的场面中,正(+)和负(−)电荷分离时,就会出现放电事故。


   ■ 解决方法・・・思路:使用不会对LCA侧的接触面放电的材料/设为不容易放电的表面状态。

  1. 对工作台表面进行绝缘处理,以防剥离带电。例如,具有绝缘性的镀制处理等。

  2. 而且,还要减少与玻璃基板接触的工作台的表面的接触面积。例如,加大面粗糙度,形成网格状槽,由此减少接触表面积(参照【图1】)。  

・从上述−事例1的状态下,使玻璃基板在输送机上移动时,玻璃基板处于带电状态。

・在该状态下,玻璃基板上被使得拥有所带的电荷,在此情况下搬运的话,就会存在有在搬运过程中的某处出现放电事故的风险。

   ■ 解决方法・・・思路:逐步使带电电位在低水平上出现变化(使之激烈变化的话,就会放电。)

  1. 要使LCA设备侧拥有,在从工作台移载到搬运输送机的场面中,逐步消除玻璃基板的带电电荷的机制(参照【图2】)。

  2. 试图急剧地消除带电电荷的话,就会成为放电的契机,从而诱发静电破坏。

静电所导致的带电/放电故障的解决方法(对应无尘室的LCA-13)



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