概要
在加工操作台上用真空吸附把持玻璃基板的状态下,在进行印刷和各种加工时,在真空吸附的位置上容易发生印刷不良和加工不良。讲解了其原因和对策方法。
讲解
・对于板厚很薄的玻璃基板等,在印刷各种溶剂时和机械加工时,在加工操作台上使用真空吸附法来把持玻璃基板的情况很多。但是,由于真空吸附槽的设计(槽形状,槽的尺寸,其他)有时会发生加工不良。这里讲解了真空吸附槽的设计和加工不良的关系以及机械构造方面的处理对策。
(1)生产线的讲解
・对于板厚薄的玻璃基板的各种加工处理,在加工操作台上真空吸附玻璃基板后进行加工。这种情况下,对于操作台的玻璃基板的定位是,对玻璃基板的外周基准边和操作台的基准面进行定位,保持这两者的位置关系把玻璃基板放到操作台上面,用真空吸附把持。
・对于各种尺寸的玻璃基板为了可以进行真空吸附,在操作台上面做了各种形状的真空吸附用槽(图1)。
(2)在加工操作台上的加工不良的原因讲解
・在加工操作台上放置的玻璃基板通过真空吸附被吸附在操作台上面。因为这个真空吸附力在真空吸附槽的部分被局部的吸附,所以如果是板厚薄的玻璃基板的情况下,真空吸附槽大的话玻璃基板会在这个部位上有略微的凹状变形。
・这个略微的凹状变形,在印刷处理时会使基板局部的发生印刷涂膜量的变动,或者机械加工时使基板发生直线加工的弯曲不良(图2)。
(3)由于真空吸附把持法产生的加工不良的对策
・对于基于玻璃基板的板厚的基板刚性,真空吸附槽大(槽的宽度大)的话,由于真空吸附力,槽部会发生局部变形。
・因此,这个不良是可以通过缩小真空吸附槽的宽度致使真空吸附力引起的玻璃基板的变形达到可以无视的程度来处理的(图3)。
・除了真空槽方式,还能够使用把操作台上面的部材置换成有多孔构造的陶瓷材等这样根本的对策。