(1) 倾斜误差发行原因详细说明
在此用实际的测量机器的事例来说明「倾斜误差」的发生原因及对策。
・由温度倾斜而产生「倾斜误差」变化的原因分为a)测量机器的温度稳定化b)自动化机器的机构系热变形2种。
a)测量机器的温度漂移
b)自动化机器的热变形
・以下对a) 量机器的温度漂移进行讲解。
・定位用测量机器由「测量传感器」＋「测量用回路」＋「测量传感器固定机构」3方面构成, 具有对应各自测量时间的精度变化的特性。图1为万能测试机的事例,「测量传感器」＝载荷传感器，「测量用回路」＝载荷传感器的测量装置，「测量传感器固定机构」＝门型机构。
・「测量传感器」本体是用对周边环境变化不敏感的构造组成（外壳保护，材质选择等），采用激光或压电元件等复合构造材料的传感器容易发生温度漂移。
・「测量用回路」当电源打开后，内部回路基板类会上升到一定的温度，无法避免构成回路基板的多数电子部件的温度漂移。因此，必须在达到一定温度后开始测量。这个到达一定温度的时间称为「预热时间」。 采用测量机器时，一般的「预热时间」为10分钟左右。
・「测量传感器固定机构」作为机构部件受到温度变形的影响。图1的万能测量机也需要在精密测量的试验场地设定恒温。
・作为「测量用回路」的温度漂移对策的「预热时间」关系如图2所示。图2的直线是理想的测量数据。初期为曲线的数据是有温度漂移的情况。这个曲线如果从「预热时间」过后的时间点开始测量的话，可以避免温度漂移的影响。
