无尘间的基本原则和规格表

无尘间基本原则

1．避免带入灰尘

· 室内气压应高于周边

· 提高滤网的捕集率，避免漏过

· 带入无尘间的设备、材料做洁净化处理

· 作业人员正确更衣

· 禁止带入无关物品

2．避免产生灰尘

· 穿着正确的防尘服

· 消除不必要的动作

· 装置、设备采取防尘措施

3．避免堆积灰尘

· 采取气流措施，避免垃圾滞留

· 避免形成难以清扫的拐角

· 按照标准实施清扫

4．排除灰尘

· 采取气流措施，避免垃圾滞留

· 增加通风换气次数

· 在产生灰尘部位的附近进行排气

· 带入无尘间的设备、材料做洁净化处理

无尘室的规格（洁净度级别）

目前，在日本并没有统一的洁净度级别表示方法。

必须注意的是，根据标注规格不同，作为基准的体积与颗粒直径均有所不同。具代表性的标注方法有如下3种。

JIS规格

在JIS B 9920的洁净度级别标注方法中，是以10的阶乘表示1m3中0.1μm以上颗粒物的数量，然后取此时的指数作为标注的级别。

（表示：1～8级）

FED-STD-209D

（美国联邦规格，1988年）

单位为英制（FS单位）。以0.5μm以上的微粒为基准，表示1Ft3中的颗粒物数量。实际上，这仍然是当前最常用的标注方法。1992年制订了SI单位的209E，但是并未得到普及，而是在2001年予以废止。

ISO规格

以美日欧为核心，首次作为世界统一标准而起草并推进普及。

ISO 14644-1“空气洁净度分级”

在ISO分级标注中，基准颗粒直径为0.1μm、基准体积为1m3，直接采纳了JIS规格中的相关标准。但是级别分为1～9级。

各种规格的对应表