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米思米官方回答
对于标准产品，以下系列的适用流体为气体：PFM5/7系列…氮、氩、二氧化碳。PF2A、PFMB、PFMC、PFMV系列…氮。（注1：即便使氩流向PFM5/7以外的流量开关，测量值也会产生误差） （注2：由于氦的分子量很小，所以会发生泄漏，测量值会产生误差）
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