由于日本的生产基地有加强高附加值的趋势，所以振动问题的重要性正在增加。在质量较重装置的运动控制中，因为高速性和精密性是相互矛盾的物理现象，所以我们认为可以利用先进的控制技术和减振技术。下面将针对自动化的振动问题与对策进行解说。
1) 振动与生产现场的问题
在生产现场，质量，成本和振动问题之间存在直接和间接的深层关系。例：
(1) 如果不促进减振，精确定位和打印质量将会不稳定。
(2) 将设备的生产节奏加快，振动也随之增强。
(3) 由于昼夜振动水平的差异，故障率会有所不同。
(4) 由于卡车经过的振动而导致抗蚀剂印刷不均匀性。
因此，对于采用高附加值生产技术的自动化设备，必须在初始设计阶段加入优选的振动对策。
在许多情况下，对已经制造的设备和工厂进行振动对策是很困难并且很难有效果的。原则上,“从设计阶段进行振动对策才是正确的”。
2) 关于防振支架
・常采用防振支架（【照片1】）来为零件插入设备或压装设备等产生振动的设备做防振支持，或是减少外部振动的影响。
・【图2】是根据防振装置的频率评估振动阻尼特性的情况。采用米思米的防振安装可以实现有效的振动对策。
