在此，介绍一下与滑动导轨相比，精度要高很多的直动导向的尖端技术概要。
移动电话的液晶显示屏和PC用显示器等显示高精细图像的商品其关键部件，要求具有亚微米级（例如0.3μm以下）的公差精度。这种关键部件很多是由超精密金属模具制作后再进行量产的。对于这种超精密金属模具的加工，是使用可实现亚微米级精度的超精密加工设备。
超精密加工设备具有代表性的直动导向
超精密加工设备的直动导向结构可分成以下2种。
a）接触式滑动导向・・・・轨道与可动体接触，并活动。 |
（a）关于接触式滑动导向
·【照片1】所示的是用于超精密加工设备，具有代表性的接触式滑动导向的结构。由熟练工通过手工精加工方式进行刮铲操作（【照片2】），由此进行精加工，最终形成V槽形状的滑动导向。在该导向上，配置有超精密级的滚柱轴承。
· 在采用刮铲方式进行精加工所形成的V槽导向上，设置滚柱轴承和上部可动体，并用测量器具进行精度测定，以不断缩小误差。此一操作反复进行。
· 该直动导向的结构为，使用滚珠丝杠来进行驱动。但为了要避免滚珠丝杠的挠曲所产生的，朝向上下左右方向的误差，滚珠丝杠螺母部使用平行弹簧来固定住，仅传递直动方向的推力。
（b）关于非接触式滑动导向
·【照片3】是将用于精密平台的花岗岩石材用于结构材料的，空气轴承的外观图片。
· 花岗岩石材是天然材料，因此，可忽视经年变化。对热变形不敏感，并可吸收振动。由于存在这一类特性，因此被选定。
· 空气轴承的作用是在6μm左右的间隙释放出空气，并利用该气压，在非接触状态下，构成超精密直动导向。
· 直动导向轨道为凸状的块，它的最终精度也是采用手工抛光加工方式进行的抛光加工。
· 可动部的空气垫设计对于空气刚性和避免产生共振来说是重要的（【照片4】）
·【照片3】中的银色长方体为直线电机。
· 通过采用空气轴承和直线电机来构成完全非接触滑动导向。
在这种超精密驱动控制的世界里，要求具有周边温度的稳定控制（例如±0.1℃）、外部振动的完全隔断所需的独立基础结构和无尘等的环境控制。
