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真空计

  • 2023.05.23 11:08:18
  • 米思米
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 使用各种泵将真空容器内部抽真空后,能够达到何种程度的真空度呢?如果无法确切知道达到多少帕斯卡,则无法进行干式处理。为了达到这一目的,需要使用各种真空计。

 当前使用的主要真空计的工作原理和测量范围如【表1】所示。从表中可以看出,1台真空计无法测量105~10-10的宽压力范围。因此需要组合使用与测量范围相对应的各种真空计。


表1.各种真空计的工作原理与测量范围

真空计


 [1] 是将托里拆利的测量原理直接应用于真空计。由于液柱的读数极限约为1mm,因此在使用水银液柱时,测量极限约为133Pa(1Torr)。如果使用比重为1的硅油等液体,则为133/13.6≒10,可以测量到10Pa左右。

 [2] 的波登管真空计原理与常规的压力表相同,真空计的指针会根据波登管的位移而移动。隔膜真空计的压力表中有一个由金属、有机材料、石英、玻璃等制成的隔膜,将内部分隔开,其中一个腔室与真空容器相连,另一个腔室中安装电极并保持高真空。当真空容器内的真空度升高时,隔膜会向容器侧位移,可通过机械或电气手段捕捉该变化以测量真空度。

 [3] [4] [5] [6] 随着真空度的增加,测量方法也变得愈加复杂。

 上述真空计都是测量真空容器内的整体压力,称为“总压计”,还有一种是测量特定气体压力的“分压计”。例如,当残留气体中的特定气体会对薄膜的性能产生重大影响时,必须知道其分压。


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