薄膜的生产技术，采用从传统的电镀成膜法（湿式工艺）到真空成膜法（真空蒸镀法、溅射法等干式工艺）的情况不断增多。这是因为它具有优秀薄膜材料控制性并适合多层膜结构等。采用干式工艺时，对于所用的夹具材料，出现了轻量化需求。
(1) 薄膜工艺用夹具材料
・在薄膜工艺中，采用的是在真空中进行高温处理等的方式。因此，对于所用的夹具材料，人们采用的是杂质尽量少的材料。此外，也需要有耐高温的耐热性。因此，人们多用高纯度碳材料。
・此外，由于很多时候是在洁净室内使用的，因此，也有耐磨损性和耐腐蚀性等要求，使用高硬度碳材料就合适了。
・由于夹具重量很大程度上涉及到搬运机器人和各种装置的工作台等的刚性问题，因此，最好使用轻的碳材料。
(2) 高纯度碳材料的特点
具有以下特点。
(1) 重量轻，强度高。
(2) 材料中的杂质少。
(3) 即使在高温环境下，也很耐热，热膨胀也少。
(4) 隔热性高。
(5) 耐化学品性、耐腐蚀性优秀。
(6) 具有生物亲和性。
由于具有这种金属材料和树脂材料所不具备的优秀材料特性，因此，会被用于面向今后有望不断得到发展的环保产业和生物医学产业用途的装置用的备件材料和主要骨干部件材料。
环保产业用途示例 | 生物医学产业用途示例 |
燃料电池电极基板 | 人造骨骼组织 |
