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光成型-1(化学蚀刻)

  • 2023.06.15 09:34:26
  • 米思米
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 光成型是将上述光刻中所使用的光刻胶图案形成技术与电铸法(electroforming)或化学镀(chemical plating)相结合而形成的加工工艺。

 这种工艺方法并非利用化学蚀刻的成型技术,但是在抗蚀剂图形的形成方法方面是完全相同的,而且应用领域也与光刻相一致,所以在此对其予以介绍。

 光成型法是利用电镀或化学镀等方法,让金属附着在没有光刻图案的区域(不存在抗蚀剂的裸露金属区域),待其加厚到一定程度后将其剥离从而形成产品。

 光刻与光成型的过程对比如【图1】所示。

光成型-1(化学蚀刻)


 从【图1】中可以看出,这两者的图形形成过程是一样的,不同的是涂布光刻胶的材料,在光刻中是涂布在金属上,而在光成型中则是涂布在表面涂布有导电性薄膜的支撑体上。这种支撑体并不一定必须是金属材质,而是可以采用塑料、玻璃、蜡等绝缘材料制成,可以通过涂布导电薄膜进行电镀。镀层达到规定厚度后,将镀层从支撑体上剥离下来,就成为产品成品。

 也就是说,在这种加工方法中,需要在电镀后剥离镀层,因此必须预先对基材表面进行预处理,使其易于剥离。

 从作业性、加工性、经济性等角度出发,通常使用铁、镍、不锈钢、铝、铜、黄铜等金属制作支撑体。采用常规方法对这些金属表面进行脱脂、酸洗、活化后,进行光刻胶涂布、曝光、显影、形成图案,然后形成氧化物、硫化物、铬酸等薄膜,最后进行电镀。


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