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电解蚀刻

  • 2023.06.25 14:00:51
  • 米思米
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(1)概要


 不同于以化学方式溶解材料的化学蚀刻,电解蚀刻是通过提供直流电源,并以材料作为阳极,以电化学方式溶解材料而实现蚀刻的目的。

 应用电解蚀刻的技术包括电解加工、电解研磨、电解珩磨、电解抛光等,这些技术都是使用预先加工成型为所需形状的阴极,以被加工材料为阳极,通过让二者在极近距离上进行电化学溶解,让电蚀作用集中并限制在所需的部位。

 电解加工和化学加工都是通过将蚀刻作用集中、控制在金属材料的某一特定部分而完成加工,但作为集中、控制的方法,电解加工的可用方法要比化学加工更多。

 在化学加工中,唯一的集中和控制方法,是用掩模覆盖金属材料的非加工部分,以保护其免受蚀刻作用,而在电解加工中,当然也可以采用与此完全相同的方法,但在多数情况下,是使用预先加工为所需形状的电极作为阴极,只需通电即可高效率加工出所需的产品。

1)电解加工

 电解加工(electrolytic machining)又称电化学加工(electrochemical machining),是使用不会生成钝化膜的电解液,仅通过电解蚀刻作用加工出复杂形状的工艺方法,作为传统的干式加工和放电加工的替代工艺,有其自身独有的应用领域。

2)电解研磨

 电解研磨是一种结合了机械研磨和电解蚀刻的工艺方法。即,利用以导电结合剂与磨粒结合而成的磨石进行研磨,并利用磨粒刮掉因磨粒电解溶出而产生的钝化膜,同时让露出的新鲜金属表面与导电结合剂表面之间进行电解溶出。与机械磨削相比,这一工艺具有能够提高加工效率、减少砂轮消耗、减小磨削热、减小磨削阻力等优点。

3)电解珩磨、电解抛光

 电解珩磨和电解抛光与电解研磨的原理完全相同,都是将机械珩磨和机械抛光与电解蚀刻相结合的工艺方法。其优点是完全一样的,但由于两者本来都是精加工工艺,去除的金属量极少,所以可以说也属于表面蚀刻技术领域。


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