概要
为了使玻璃基板的搬运举动稳定化的结构设计的要点是,搬运辊子上承受的基板重量的稳定化,和搬运滚接触点上的摩擦系数的变大,并且使其稳定化。
讲解
1) 辊子搬运的原理原则
・辊子搬运的情况下,搬运功能的原理是使搬运物移动的摩擦力的控制。
・也就是说搬运用驱动马达的旋转力被传达到搬运辊子上,通过这个搬运辊子上承受的基板的重量和搬运辊子的摩擦系数在接线方向上产生摩擦力,通过其反作用力搬运基板(图1)。
・因此,作为原则要求结构设计要使基板和搬运辊子的接触点上产生稳定的搬运摩擦力。
2) 辊子搬运的原理稳定化
・对于辊子搬运的基板搬运的稳定化,下述的事情很重要。
・作为1.的机械构造侧的对策,增加搬运辊子数,减小基板变形的影响,使各个辊子上承受的基板重量稳定化(图2)
・作为2.的机械构造侧的对策,在搬送辊子外周上安装摩擦系数大的部材(例如:橡胶)(图3)。
・这种情况下,希望搬运辊子外周上安装的摩擦部材是交换简单的形状,并且交换部材是通用品等。
・例如,可以采用橡胶制O型圈和聚氨酯橡胶等。米思米FA部件的辊子也作为标准部件被商品化。