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真空泵-1

  • 2023.05.23 10:20:24
  • 米思米
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 下面介绍代表性的真空泵。

(1)油回转泵

 

 像水泵一样,带有阀门的转子在圆盘形外壳内旋转,进行进气、压缩、排气,并使用油润滑摩擦部位。由于是利用大气压力吸气,因此在许多真空系统中被用作第一级真空泵。这些泵可根据其结构分为旋片式、凸轮式、摆动活塞式。2级式真空泵是将2台泵串联,部分高精度型可达10-3Pa左右。【照片】中是电机直联式油回转泵的外观。

真空泵-1

(2)油扩散泵

 这种泵是利用从喷嘴以2倍音速以上的速度喷出的油蒸汽喷流带走气体。其结构如【图1】所示,由锅炉加热而蒸发的油蒸气从各个喷嘴中喷出,将扩散到喷流中的气体推向泵下方。该气体被压缩至约1Pa,由油旋转泵接管,进一步由油旋转泵压缩至大气压,并释放到大气中。

 另一方面,油从喷口喷出后,凝结在水冷泵容器的内壁上形成油滴,然后沿着内壁移动返回锅炉。

 这种泵在进口侧装有冷盖以防止油液倒流,在出口侧装有水冷挡板或液氮冷阱,以防止油液流出。

 

真空泵-1


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